臭氧檢測儀主要由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。
臭氧檢測儀采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
主要根據臭氧對254nm波長的紫外光存在*大吸收，并由蘭伯特-比爾定律光強與濃度的對數值成正比原理設計而成，采用了經典的雙光路系統，精度達±0.1mg/L，測量范圍由0.1~200mg/L。適用于高濃度的臭氧氣體測量。用于臭氧發生器出口的濃度測量，可連續在線檢測臭氧發生器出口管道中臭氧濃度。主要用于連續檢測各種工業環境下的臭氧氣體，也可用于檢測運行中的管道、容器等環境的臭氧氣體。
